1、操控：全新研發(fā)生產(chǎn)的高頻超聲波清洗系列，采用7寸觸摸屏控制，可設(shè)置9組用戶程序，操作簡便，零工作噪音，實現(xiàn)靜態(tài)超聲。
2、原理：高頻超聲能使被清洗件表面附近形成速度梯度很大且極薄的聲學(xué)邊界層，其雜質(zhì)粒子受到液體兆赫頻的震蕩作用從器件表面脫落，能夠清洗掉元器件表面微米、亞微米級的雜質(zhì)顆粒，實現(xiàn)超精密清洗過程。
3、頻率優(yōu)勢：頻率涵蓋了0.5MHz、1.0MHz和1.7MHz三種頻率，高頻超聲波清洗過程由于極低的空化效應(yīng)，對被清洗件表面不會產(chǎn)生損傷，能夠有效解決精密元器件清洗后造成的腐蝕或損傷破壞等現(xiàn)象。
4、應(yīng)用方向：被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，并且其除了有清洗作用外，還可以在化學(xué)機械拋光、顯影、除膠、金屬剝離、刻蝕等關(guān)鍵工藝中起到重要作用。
